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大連理工研制出低功耗、高靈敏度、高可靠性的集成傳感器

2023-03-28 15:22作者:煒盛科技本文網(wǎng)址:ken19.com/hangyezixun/951.html瀏覽:

連理工大學黃輝教授團隊研發(fā)的無漏電流&ldquo;納米線橋接生長技術&rdquo;,,解決了納米線器件的排列組裝、電極接觸及材料穩(wěn)定性問題,制備出高可靠性(8個月電阻變化率<0.8%)、低功耗(可室溫工作)及高靈敏度(NO2檢測限0.5ppb)的GaN納米線氣體傳感器,該傳感器可推廣至生物檢測以及應力應變檢測等,實驗結果發(fā)表在國際納米領域頂級期刊&ldquo;Nano Letters&rdquo; 上。

目前,半導體集成電路芯片(IC)的迅速發(fā)展,推動了物聯(lián)網(wǎng)和人工智能產(chǎn)業(yè)的興起。如果將IC與人腦進行比較,傳感器就相當于人類的感覺器官,它們是相互依賴的。然而,傳感器(尤其是可以集成的微納米傳感器)的發(fā)展遠遠落后于集成電路的發(fā)展水平。因此,微納傳感器(或傳感芯片)將成為繼IC產(chǎn)業(yè)之后的另一個主要產(chǎn)業(yè)。

黃輝團隊首次研究了納米線橋接生長中的寄生沉積效應,發(fā)明了氣流遮擋效應與表面鈍化效應的生長方法,解決了寄生沉積問題。并首次實現(xiàn)了&ldquo;無漏電流&rdquo;的GaN橋接納米線,在此基礎上,研制了一種高穩(wěn)定性、低功耗、高靈敏度的集成納米線氣體傳感器。尤其是GaN材料是第三代半導體材料,具有優(yōu)異的穩(wěn)定性、耐高溫性、抗氧化性、耐酸堿腐蝕性和生物相容性,適用于惡劣環(huán)境下的應力應變和液氣樣品檢測,應用領域非常廣泛。這項技術將推動傳感芯片的發(fā)展。
 



 
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