隨著物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展,傳感器的應(yīng)用也越來越廣泛,微機(jī)電系統(tǒng)-MEMS傳感器在也慢慢成為主流傳感器之一。MEMS傳感器有三項(xiàng)MEMS技術(shù)產(chǎn)品:紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中,大約需要采用25至40只MEMS傳感器,那么都有哪些MEMS傳感器和技術(shù)能用于汽車中呢?
(1)MEMS傳感器的大批量高精度生產(chǎn)和高可靠性及單價(jià)廉價(jià),特別適宜在汽車電控系統(tǒng)中應(yīng)用。
(2)安全氣囊中的汽車安全氣囊感應(yīng)器。
(3)MEMS汽車微加速度計(jì)正替代以往的機(jī)電式加速度傳感器。
(4)MEMS陀螺儀在高端汽車中的應(yīng)用包括:懸架控制、翻滾。
(5)汽車MEMS壓力傳感器和輪胎氣壓自動(dòng)監(jiān)測系統(tǒng),MEMS壓力傳感器適合于任何類型的輪胎,在輪胎胎壁埋設(shè)一小塊感壓力敏芯片,自動(dòng)測量輪胎氣壓、溫度、轉(zhuǎn)速和其它一些數(shù)據(jù),并用特定的代碼發(fā)送出來。
(6)發(fā)動(dòng)機(jī)管理系統(tǒng)中的MEMS應(yīng)用。
(7)微機(jī)械陀螺是一種振動(dòng)式角速率傳感器,在汽車領(lǐng)域的應(yīng)用開發(fā)倍受關(guān)注,主要用于汽車導(dǎo)航的GPS信號補(bǔ)償和汽車底盤控制系統(tǒng)。
(8)汽車電控燃油噴射系統(tǒng)EFI要使用多重壓力MAP傳感器,監(jiān)測發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣歧絕對壓力,提高其動(dòng)力性能,降低油耗,減少廢氣排放。
(9)微型硅壓阻式MEMS壓力傳感器可用于發(fā)動(dòng)機(jī)廢氣循環(huán)系統(tǒng),替代陶瓷電容式壓力傳感器。
(10)汽車空調(diào)壓縮機(jī)中的壓力測量也是MEMS的一個(gè)很大市場。
(11)氣缸內(nèi)氣壓測量,爆缸控制。
(12)燃油噴射系統(tǒng),柴油共軌系統(tǒng)。
(13)傳動(dòng)油壓,變速自動(dòng)控制。
(14)制動(dòng)油道油壓,制動(dòng)系統(tǒng)。
(15)懸掛液壓,懸掛系統(tǒng)。
如今,隨著MEMS傳感器越來越小,功能越來越多樣化,價(jià)格越來越低,設(shè)計(jì)和應(yīng)用空間也在不斷擴(kuò)大。借助新型材料,如SiC、納米管、納米線、光導(dǎo)、超導(dǎo)和智能材料等開發(fā)出的各種新型MEMS傳感器,進(jìn)一步提高了MEMS傳感器的精度和可靠性。
除了應(yīng)用在汽車電子中,MEMS傳感器在消費(fèi)類電子產(chǎn)品應(yīng)用市場的普及率也在不斷提高。