對于MEMS技術(shù)，很多朋友是比較熟悉的。但是，同樣有些朋友對MEMS技術(shù)并不了解。為增進(jìn)大家對MEMS技術(shù)的了解，本文首先將對MEMS技術(shù)基礎(chǔ)予以介紹，然后小編將帶大家看看汽車上有哪些MEMS應(yīng)用。
一、MEMS 技術(shù)基礎(chǔ)
MEMS 技術(shù)的目標(biāo)是通過系統(tǒng)的微型化、集成化來探索具有新原理、新功能的元件和系統(tǒng)。MEMS 技術(shù)是一種典型的多學(xué)科交叉的前沿性研究領(lǐng)域，幾乎涉及到自然及工程科學(xué)的所有領(lǐng)域，如電子技術(shù)、機(jī)械技術(shù)、物理學(xué)、化學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、能源科學(xué)等。其研究內(nèi)容一般可以歸納為以下三個(gè)基本方面：
1.MEMS 理論基礎(chǔ)：
在當(dāng)前MEMS所能達(dá)到的尺度下，宏觀世界基本的物理規(guī)律仍然起作用，但由于尺寸縮小帶來的影響(Scaling Effects)，許多物理現(xiàn)象與宏觀世界有很大區(qū)別，因此許多原來的理論基礎(chǔ)都會發(fā)生變化，如力的尺寸效應(yīng)、微結(jié)構(gòu)的表面效應(yīng)、微觀摩擦機(jī)理等，因此有必要對微動力學(xué)、微流體力學(xué)、微熱力學(xué)、微摩擦學(xué)、微光學(xué)和微結(jié)構(gòu)學(xué)進(jìn)行深入的研究。這一方面的研究雖然受到重視，但難度較大，往往需要多學(xué)科的學(xué)者進(jìn)行基礎(chǔ)研究。
2.MEMS技術(shù)基礎(chǔ)：
MEMS的技術(shù)基礎(chǔ)可以分為以下幾個(gè)方面：
(1).設(shè)計(jì)與仿真技術(shù)；
(2).材料與加工技術(shù)；
(3).封裝與裝配技術(shù)；
(4).測量與測試技術(shù)；
(5).集成與系統(tǒng)技術(shù)等。
3.MEMS 應(yīng)用研究：
人們不僅要開發(fā)各種制造 MEMS 的技術(shù)，更重要的是如何將 MEMS 技術(shù)與航空航天、信息通信、生物化學(xué)、醫(yī)療、自動控制、消費(fèi)電子以及兵器等應(yīng)用領(lǐng)域相結(jié)合，制作出符合各領(lǐng)域要求的微傳感器、微執(zhí)行器、微結(jié)構(gòu)等 MEMS 器件與系統(tǒng)。
二、汽車上的MEMS應(yīng)用
MEMS傳感器有三項(xiàng)MEMS技術(shù)產(chǎn)品：紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器；在高檔汽車中，大約采用25至40只MEMS傳感器;
(1).MEMS 傳感器的大批量高精度生產(chǎn)和高可靠性及單價(jià)廉價(jià)，特別適宜在汽車電控系統(tǒng)中應(yīng)用;
(2).安全氣囊中的汽車安全氣囊感應(yīng)器;
(3).MEMS 汽車微加速度計(jì)正替代以往的機(jī)電式加速度傳感器
(4).MEMS 陀螺儀在高端汽車中的應(yīng)用包括：懸架控制、翻滾
(5).汽車MEMS壓力傳感器和輪胎氣壓自動監(jiān)測系統(tǒng)，MEMS 壓力傳感器適合于任何類型的輪胎，在輪胎胎壁埋設(shè)一小塊感壓力敏芯片，自動測量輪胎氣壓、溫度、轉(zhuǎn)速和其它一些數(shù)據(jù)，并用特定的代碼發(fā)送出來。
(6).發(fā)動機(jī)管理系統(tǒng)中的MEMS應(yīng)用
(7).微機(jī)械陀螺是一種振動式角速率傳感器，在汽車領(lǐng)域的應(yīng)用開發(fā)倍受關(guān)注，主要用于汽車導(dǎo)航的 GPS 信號補(bǔ)償和汽車底盤控制系統(tǒng);
(8).汽車電控燃油噴射系統(tǒng) EFI 要使用多重壓力 MAP 傳感器，監(jiān)測發(fā)動機(jī)進(jìn)氣歧絕對壓力，提高其動力性能，降低油耗，減少廢氣排放。
(9).微型硅壓阻式 MEMS 壓力傳感器可用于發(fā)動機(jī)廢氣循環(huán)系統(tǒng)，替代陶瓷電容式壓力傳感器;
(10).汽車空調(diào)壓縮機(jī)中的壓力測量也是 MEMS 的一個(gè)很大市場。
(11).氣缸內(nèi)氣壓測量,爆缸控制;
(12).燃油噴射系統(tǒng),柴油共軌系統(tǒng);
(13).傳動油壓,變速自動控制;
(14).制動油道油壓,制動系統(tǒng);
(15).懸掛液壓,懸掛系統(tǒng)。
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