MEMS 傳感器是采用微電子和微機械技術工藝制造出的微型傳感器。與傳統(tǒng)傳感器需要多種機械配件相比，MEMS 技術可以把配件全部集成在一塊很小的 MEMS 芯片上，具有輕重量、功耗低和批量生產(chǎn)的特點，滿足了小體積、高性能的要求。
作為專業(yè)的傳感器解決方案提供商，煒盛科技在MEMS傳感器方面碩果累累，有基于MEMS工藝的氣體傳感器、溫濕度傳感器、熱式流量傳感器、塑封壓力傳感器、熱電堆傳感器等多品類MEMS產(chǎn)品及解決方案，并以優(yōu)秀的品質(zhì)贏得了市場的廣泛贊譽。
GM系列氣體傳感器
MEMS氣體傳感器由基于MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料組成。當環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時，傳感器的電導率發(fā)生變化，該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。
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MEMS氣體傳感器具有結構堅固，抗震性好、尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應恢復快、驅(qū)動電路簡單、穩(wěn)定性好、壽命長等特點?？蓹z測包含燃氣、煙霧、氫氣、一氧化碳、氨氣、硫化氫、酒精、口氣、VOC等多種氣體。
熱電堆溫度傳感器
● 熱電堆溫度傳感器，是基于MEMS工藝將上百對熱電偶串聯(lián)而成。利用塞貝克原理，當目標與環(huán)境之間存在溫度差時，傳感器輸出對應的電壓，從而檢測出目標存在或目標的溫度。
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熱電堆溫度傳感器具有高紅外響應率、高重復性、高可靠性和穩(wěn)定性的特點。在額溫/耳溫等非接觸體溫測量、家用電器（空調(diào)、護發(fā)吹風機、油煙機等）溫度測量與控制以及空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)、電力管理系統(tǒng)等領域應用廣泛。
氣體流量傳感器
氣體流量傳感器采用新一代MEMS傳感器芯片技術，利用熱力學原理對流道中的氣體介質(zhì)進行流量檢測，具有很好的精度與重復性?？删_測量極小流量，精度高，響應速度快，重復性好，經(jīng)過完全校準和溫度補償，同時具有線性模擬電壓輸出，方便使用。
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流量傳感器在醫(yī)療儀器（呼吸機、氧氣機等）、便攜式儀器、工業(yè)過程控制及空氣和環(huán)境保護等領域有著廣泛應用。
塑封壓力傳感器
塑封壓力傳感器是采用高精度MEMS壓力敏感芯片和成熟的生產(chǎn)工藝封裝而成的傳感器。具有尺寸小、精度高、寬工作溫度范圍、常溫高精度等特點。
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MEMS塑封壓力傳感器常被應用于手持壓力計、電子血壓計、空壓表、汽車胎壓檢測、過程控制系統(tǒng)、壓力校準儀器、高度計、大氣壓力測量等領域。
溫濕度傳感器
MEMS溫濕度傳感器配有一個ASIC芯片、一個MEMS電容式濕度傳感元件和一個溫度傳感元件。產(chǎn)品的精度、響應時間、測量范圍都有巨大優(yōu)勢。
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MEMS溫濕度傳感器可廣泛應用于家電領域（如暖通空調(diào)、智能恒溫器、房間監(jiān)視器等）、工業(yè)領域（如汽車、測試及檢測設備、自動控制）及數(shù)據(jù)記錄器、氣象站、醫(yī)療及其他溫濕度檢測控制相關領域。
MEMS是傳感器乃至整個半導體產(chǎn)業(yè)重要的技術分支，這一技術使各行各業(yè)的制造商能夠在微觀尺度上制造出精確、極其敏感的元件，目前正處于第三次產(chǎn)業(yè)浪潮的爆發(fā)期。
未來，隨著物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、自動駕駛等新興技術的發(fā)展成熟，MEMS新產(chǎn)品、新功能、新應用也將不斷涌現(xiàn)，帶動MEMS行業(yè)規(guī)模持續(xù)增長！
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