摘要：微納制造技術(shù)，是MEMS傳感器可產(chǎn)品化和批量化制造的前提。11月25日，湖南先進(jìn)傳感與信息技術(shù)創(chuàng)新研究院核心實(shí)驗(yàn)室落成，這是我國目前最大最先進(jìn)的微納傳感器加工實(shí)驗(yàn)室。
微納制造技術(shù)作為MEMS傳感器的實(shí)現(xiàn)手段，它直接決定了傳感器的性能與制作成本，是傳感器可產(chǎn)品化和批量化制造的前提。隨著MEMS微納制造技術(shù)的不斷進(jìn)步，MEMS傳感器在航空航天、生化醫(yī)療、食品安全等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用，特別是近幾年來伴隨著汽車電子產(chǎn)品和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展，市場對不同類型和功能的MEMS傳感器需求量越來越大。
落成儀式現(xiàn)場，資料圖
11月25日，湖南先進(jìn)傳感與信息技術(shù)創(chuàng)新研究院核心實(shí)驗(yàn)室，在湘潭大學(xué)正式落成。據(jù)悉，這是中南地區(qū)最大、屬于國內(nèi)領(lǐng)先水平的微納器件加工實(shí)驗(yàn)室。而湖南先進(jìn)傳感與信息技術(shù)創(chuàng)新研究院，則是湖南省人民政府支持，投資1億元，由北京大學(xué)與湘潭大學(xué)合作共建，設(shè)立在湘潭大學(xué)的新型研發(fā)平臺。
在落成儀式上，擔(dān)任該研究院院長的中科院院士、北京大學(xué)教授彭練矛表示，該實(shí)驗(yàn)室是我國最大、最先進(jìn)的微納傳感器加工實(shí)驗(yàn)室，包括百級、千級、萬級在內(nèi)的核心超凈室1400平方米，及價(jià)值兩千余萬元的微納加工裝備。這為將來研究院成為全國乃至國際領(lǐng)先的傳感技術(shù)發(fā)源地打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
未來，物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展將把包括人在內(nèi)的萬物都聯(lián)系起來，其中最為核心的技術(shù)就是先進(jìn)傳感和信息處理技術(shù)。
據(jù)了解，彭練矛院士團(tuán)隊(duì)在碳基集成電路與納米器件研究領(lǐng)域處于國際前沿，其研究成果對于用碳納米管材料替代硅基材料制造電子產(chǎn)品芯片，從而突破傳統(tǒng)硅基材料物理極限，具有顛覆性意義，產(chǎn)業(yè)化前景巨大。
MEMS微納制造技術(shù)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)景，資料圖
研究院將依托彭練矛院士團(tuán)隊(duì)的先導(dǎo)性技術(shù)優(yōu)勢，建成碳基納米器件和新型傳感器研究的國內(nèi)一流創(chuàng)新平臺，基于平臺，也有望研發(fā)出屬于我國自己的“中國芯”，形成一批具有國際影響的重大原始創(chuàng)新成果，并探索推動其在可穿戴電子產(chǎn)品、工業(yè)控制、人工智能、健康監(jiān)測和醫(yī)療以及物聯(lián)網(wǎng)等的應(yīng)用。
據(jù)介紹，此次落成的核心實(shí)驗(yàn)室，即微納傳感器加工實(shí)驗(yàn)室，包括百級、千級、萬級在內(nèi)的超凈室約1500平方米，和一批先進(jìn)的微納加工設(shè)備。超凈室最主要的作用在于控制產(chǎn)品所接觸大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)。
為推動湖南先進(jìn)傳感與信息技術(shù)創(chuàng)新研究院建設(shè)，省科技廳將其列為了長株潭國家自主創(chuàng)新示范區(qū)重大標(biāo)志性工程。目前，該研究院已引進(jìn)包括中國科學(xué)院院士、國家優(yōu)青等一批高端人才，招收了20余名博士、碩士研究生培養(yǎng)并開展科研，發(fā)表了20余篇較高水平的學(xué)術(shù)論文。
另外，該研究院還積極與企業(yè)進(jìn)行了接洽，計(jì)劃在傳感器應(yīng)用方面，與華為、京東方、旭海光電、中電集團(tuán)等龍頭企業(yè)開展產(chǎn)學(xué)研合作，將基礎(chǔ)研究成果盡快推向市場。
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