MEMS 傳感器是采用微電子和微機(jī)械技術(shù)工藝制造出的微型傳感器。與傳統(tǒng)傳感器需要多種機(jī)械配件相比，MEMS 技術(shù)可以把配件全部集成在一塊很小的 MEMS 芯片上，具有輕重量、功耗低和批量生產(chǎn)的特點(diǎn)，滿足了小體積、高性能的要求。
作為專業(yè)的傳感器解決方案提供商，煒盛科技在MEMS傳感器方面碩果累累，有基于MEMS工藝的氣體傳感器、溫濕度傳感器、熱式流量傳感器、塑封壓力傳感器、熱電堆傳感器等多品類MEMS產(chǎn)品及解決方案，并以優(yōu)秀的品質(zhì)贏得了市場(chǎng)的廣泛贊譽(yù)。
GM系列氣體傳感器
MEMS氣體傳感器由基于MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料組成。當(dāng)環(huán)境空氣中有被檢測(cè)氣體存在時(shí)，傳感器的電導(dǎo)率發(fā)生變化，該氣體的濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)。
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MEMS氣體傳感器具有結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，抗震性好、尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應(yīng)恢復(fù)快、驅(qū)動(dòng)電路簡(jiǎn)單、穩(wěn)定性好、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)?？蓹z測(cè)包含燃?xì)?、煙霧、氫氣、一氧化碳、氨氣、硫化氫、酒精、口氣、VOC等多種氣體。
熱電堆溫度傳感器
● 熱電堆溫度傳感器，是基于MEMS工藝將上百對(duì)熱電偶串聯(lián)而成。利用塞貝克原理，當(dāng)目標(biāo)與環(huán)境之間存在溫度差時(shí)，傳感器輸出對(duì)應(yīng)的電壓，從而檢測(cè)出目標(biāo)存在或目標(biāo)的溫度。
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熱電堆溫度傳感器具有高紅外響應(yīng)率、高重復(fù)性、高可靠性和穩(wěn)定性的特點(diǎn)。在額溫/耳溫等非接觸體溫測(cè)量、家用電器（空調(diào)、護(hù)發(fā)吹風(fēng)機(jī)、油煙機(jī)等）溫度測(cè)量與控制以及空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)、電力管理系統(tǒng)等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
氣體流量傳感器
氣體流量傳感器采用新一代MEMS傳感器芯片技術(shù)，利用熱力學(xué)原理對(duì)流道中的氣體介質(zhì)進(jìn)行流量檢測(cè)，具有很好的精度與重復(fù)性?？删_測(cè)量極小流量，精度高，響應(yīng)速度快，重復(fù)性好，經(jīng)過(guò)完全校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償，同時(shí)具有線性模擬電壓輸出，方便使用。
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流量傳感器在醫(yī)療儀器（呼吸機(jī)、氧氣機(jī)等）、便攜式儀器、工業(yè)過(guò)程控制及空氣和環(huán)境保護(hù)等領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。
塑封壓力傳感器
塑封壓力傳感器是采用高精度MEMS壓力敏感芯片和成熟的生產(chǎn)工藝封裝而成的傳感器。具有尺寸小、精度高、寬工作溫度范圍、常溫高精度等特點(diǎn)。
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MEMS塑封壓力傳感器常被應(yīng)用于手持壓力計(jì)、電子血壓計(jì)、空壓表、汽車胎壓檢測(cè)、過(guò)程控制系統(tǒng)、壓力校準(zhǔn)儀器、高度計(jì)、大氣壓力測(cè)量等領(lǐng)域。
溫濕度傳感器
MEMS溫濕度傳感器配有一個(gè)ASIC芯片、一個(gè)MEMS電容式濕度傳感元件和一個(gè)溫度傳感元件。產(chǎn)品的精度、響應(yīng)時(shí)間、測(cè)量范圍都有巨大優(yōu)勢(shì)。
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MEMS溫濕度傳感器可廣泛應(yīng)用于家電領(lǐng)域（如暖通空調(diào)、智能恒溫器、房間監(jiān)視器等）、工業(yè)領(lǐng)域（如汽車、測(cè)試及檢測(cè)設(shè)備、自動(dòng)控制）及數(shù)據(jù)記錄器、氣象站、醫(yī)療及其他溫濕度檢測(cè)控制相關(guān)領(lǐng)域。
MEMS是傳感器乃至整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)重要的技術(shù)分支，這一技術(shù)使各行各業(yè)的制造商能夠在微觀尺度上制造出精確、極其敏感的元件，目前正處于第三次產(chǎn)業(yè)浪潮的爆發(fā)期。
未來(lái)，隨著物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、自動(dòng)駕駛等新興技術(shù)的發(fā)展成熟，MEMS新產(chǎn)品、新功能、新應(yīng)用也將不斷涌現(xiàn)，帶動(dòng)MEMS行業(yè)規(guī)模持續(xù)增長(zhǎng)！
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